一、方法提要

试样用硝酸，氢氟酸在加热板上高温溶解，在酸性介质中，使用耐氢氟酸进样系统的电感耦合等离子体原子发射光谱仪，根据元素的特征波长和强度分别进行定性和定量。

二、试剂： 氢氟酸(HF) AR级, 硝酸(HNO3) GR级

 三、 仪器：加热板、移液枪、容量瓶  坩埚等。    

四、实验方法：

取样品0.1g，（精确0.0001g）置于坩埚中，加入6 mL硝酸，置于加热板上120度反应1小时，然后再加入12mL氢氟酸，于140度反应至澄清，用去离子水冲洗坩埚盖，待溶液蒸至尽干，加入2-3 mL去离子水和3mL硝酸，反应10-20min，取下坩埚冷却至室温后，用去离子水定容至100mL塑料容量瓶中，摇匀待测。结晶硅中Al、Fe元素含量低，无需稀释。

五、检测结果

          结晶硅中Al，Fe元素检测结果

通过此方法测定结晶硅中的AL，Fe元素含量，相对偏差较小，准确度高。由于样品中两个元素含量低，每个步骤都要仔细，准确，从而避免因操作不当引起的误差过大。