山东东仪光电仪器有限公司
2018年9月22日,“大面积硅漂移探测器的产业化项目”中期总结会在国内光谱仪一流企业的山东动仪光电仪器有限公司所在地——美丽港城烟台召开,会议由国际上半导体探测器及抗辐照加固方面的著名专家李正教授主持举行。
这次研发的大面积硅漂移探测器,属于国内先进水平,国际领先。设计上通过双面阴极环等优化设计,实现合理的表面电压分布;同时采用高质量的吸杂方法及高精度双面光刻和检测工艺,得到低分压电流和低漏电流的大面积SDD。材质上使用超纯高阻硅,杂质纯度和电阻率远高于通常微电子芯片(集成电路)制作工业使用的硅片,工艺上有专门的设备和特殊的吸杂工艺加上特别训练的工艺人员来防止交叉污染而引起晶圆的质量退化,因此,产品具有唯一性和独特性。
大面积高能量分辨率SDD可缩短X射线光子累积探测时间,有效剔除空间背景噪声信号,可在航天器自主导航领域发挥重要作用。还可应用于以下军事、科学、工业及民用等领域。
大面积硅漂移探测器领域研究现在急需建立大面积硅漂移探测器的产业化平台,以满足我国探测器发展的重大需求。该平台建成后将成为前沿科学和高新技术的名片,也将推动我国在科学研究、医疗科技、生物医药、新材料、新能源、航空航天、国家安全等方面的发展,不断提高我国的综合国力。
而作为举办地山东东仪光电仪器有限公司是国内较早致力于光谱仪及其核心部件的研发、生产、销售与服务的高新技术企业。公司始终恪守“做世界一流的光谱仪”的企业使命,企业在分析仪器行业一直走在前列。