ICP - MS ( Inductively Coupled Plasma Mass Spec - trometry ，电感耦合等离子体质谱仪）是一种将 ICP 技术与质谱技术结合在一起的分析仪器。
在 ICP - MS 中， ICP 起到离子源的作用，高温的等离子体使大多数样品中的元素都电离出一个电子而形成了一价正离子；质谱则是一个质量筛选和分析器，通过选择不同质核比( m / z ）的离子通过来检测到某个离子的强度，进而分析计算出某种元素的强度。

设计特点
高性能离子源：采用它激式自动调频离子源，可根据负载实现26.0~29.5MHz自动调频，射频功率匹配速度快，具有稳定性好、功率范围宽、输出效率高等优点；

高超的分析性能：可分析质量范围2~255amu，覆盖了地球上几乎所有元素，元素分析的检出限比较低，大部分元素的检出限达到 ppt 级；

人性化操作流程：一键启动检测流程，根据提示控制进样分析，提高了用户的工作效率，降低了对软件操作的专业性要求；

维护便捷：易于拆装清洗的锥口系统、带偏转的离子透镜系统，减少了离子沉积，延长了仪器的维护周期；

高精度进样控制系统：采用进口高精度质量流量计，有效保证了进样系统的稳定性；

强大的保护功能：集成具有自动保护的真空系统、射频高压系统和离子源系统，出现异常快速自动保护，提高了分析系统的安全性，避免重要部件

应用领域

环境分析测试领域、食品安全问题、半导体材料痕量污染物分析、中药重金属检测、生物、医药、临床等研究、地矿样品测试。

其他领域：由于 ICP -MS100型质谱仪对微量和痕量元素优异的分析性能，让核废料检测、超纯材料分析、地质学及同位素比研究、生物医疗免疫诊断等手段成为可能，与分离技术联用可进行环境毒理、生命科学等领域的 Cr 、 Hg 、 As 、 Pb 、 Sn 等元素的价态、形态分析。