激光诱导击穿光谱技术（Laser Induced Breakdown Spectroscopy，简称LIBS技术），是利用激光诱导待测材料表面产生等离子体的发射光谱定量测量样品元素组分、力学参数等的测量技术，它能实现在高温、高压、高辐照环境下对材料元素组分等进行在线定量分析。

山东东仪光电仪器有限公司于2020年自主研发设计了一套成熟的远程LIBS遥测系统，该系统可实现：

Ø  激光器控制

调节脉冲能量、脉冲频率，设置预剥蚀、积分脉冲次数等。

Ø  光谱仪控制

光谱仪与激光器的同步、采集时间、延迟时间、控制不同类型光谱仪等。

Ø  云台控制

控制云台方向、俯仰角度，实现样品的扫描分析。

Ø  测距及调焦控制

通过激光测量待测样品的距离，激光聚焦系统与等离子体信号收集系统的电动位移平台自动调节，到达最佳的分析位置。

Ø  数据处理

根据光谱仪分辨率，进行自动寻峰功能，提供谱线干扰信息；内标线与分析线随机组合，依据线性相关系数选择最佳分析线对；推荐每一元素若干条特征分析谱线，根据推荐谱线进行定量分析；可以批量导入txt或excel文件，多张谱图叠加，多块CCD谱图拼接功能。

利用该系统对某中低合金钢套标样品进行线性拟合及精密度实验，得到数据如下图所示。

研发部