ICP-AES又称ICP-OES，即电感耦合等离子体发射光谱仪，测量的是光学光谱。

ICP-MS即电感耦合等离子体质谱仪，以等离子体(ICP)为源、以质谱仪作为检测器，测量的是离子的质谱，提供在一定范围内每一个原子质量单位(amu)的信息，因此，ICP-MS除了元素含量测定外，还可测量同位素。

ICP-AES(ICP-OES)和ICP-MS两者用同样的样品前处理系统。前者用的是光谱检测器，后者是用的质谱检测器，质谱分析定性效果更好些。相比来说ICP-MS的检测物质范围更广。且ICP-MS的检出限低，其溶液的检出限ICP-AES(ICP-OES)低很多，大部分元素能达到ppt级。

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